——記上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司院士專(zhuān)家工作站

　　上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司是世界**的8英寸晶圓代工廠，工藝技術(shù)覆蓋1微米至90納米各節(jié)點(diǎn)，在嵌入式非易失性存儲(chǔ)器、功率器件等領(lǐng)域形成了具有業(yè)界競(jìng)爭(zhēng)力的先進(jìn)工藝平臺(tái)，并擁有多年成功量產(chǎn)汽車(chē)電子芯片的經(jīng)驗(yàn)，被評(píng)為“國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心”和“上海市高新技術(shù)企業(yè)”。公司在上海金橋和張江建有3座8英寸晶圓廠，月產(chǎn)能約17萬(wàn)片;同時(shí)，在無(wú)錫高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)內(nèi)在建1條月產(chǎn)能4萬(wàn)片的12英寸集成電路生產(chǎn)線，支持5G和物聯(lián)網(wǎng)等新興領(lǐng)域的應(yīng)用。

　　2014年成立的華虹宏力院士專(zhuān)家工作站，是上海市集成電路行業(yè)組建的首家院士專(zhuān)家工作站，先后引進(jìn)了中科院院士鄒世昌、復(fù)旦大學(xué)教授張衛(wèi)、中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員楊根慶、中科院院士郝躍，由他們組成專(zhuān)家團(tuán)隊(duì)，在公司內(nèi)建設(shè)服務(wù)平臺(tái)，為企業(yè)發(fā)展提供戰(zhàn)略咨詢、培養(yǎng)人才隊(duì)伍、指導(dǎo)技術(shù)攻關(guān)、促進(jìn)科技成果轉(zhuǎn)化等服務(wù)。

　　為產(chǎn)學(xué)研合作模式深化規(guī)范

　　華虹宏力是張江園區(qū)內(nèi)首批建立博士生培養(yǎng)基地和博士后流動(dòng)站的企業(yè)之一。10多年來(lái)，華虹宏力采用產(chǎn)學(xué)研相結(jié)合的方式，培養(yǎng)了2名出站博士后、近30名博士。建立院士專(zhuān)家工作站后，公司的產(chǎn)學(xué)研合作更為規(guī)范化。為更有效地了解博士生的學(xué)習(xí)及工作情況，工作站每年會(huì)召開(kāi)三四次檢查會(huì)議，每次會(huì)議邀請(qǐng)?jiān)菏?、?zhuān)家重點(diǎn)指導(dǎo)博士生開(kāi)題報(bào)告、階段性工作和學(xué)習(xí)，并請(qǐng)即將畢業(yè)的博士生作論文選題等方面的經(jīng)驗(yàn)分享。

　　華虹宏力院士專(zhuān)家工作站團(tuán)隊(duì)曾榮獲“2014年度上海市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)”“2015年浦東新區(qū)創(chuàng)新成就獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)”，1名企業(yè)導(dǎo)師獲評(píng)為“上海市青年科技英才”，1名畢業(yè)博士被評(píng)為上海市青年科技啟明星。

　　為技術(shù)交流搭建溝通橋梁

　　每年一屆聚焦產(chǎn)業(yè)熱點(diǎn)的技術(shù)交流論壇，是華虹宏力院士專(zhuān)家工作站的重頭戲。4年來(lái)，工作站邀請(qǐng)權(quán)威專(zhuān)家，不斷擴(kuò)大規(guī)模，努力將論壇打造成工作站的品牌項(xiàng)目。

　　2014年首屆院士專(zhuān)家技術(shù)交流論壇把已畢業(yè)的聯(lián)合培養(yǎng)博士生“請(qǐng)進(jìn)來(lái)”，和院士、專(zhuān)家及企業(yè)技術(shù)人員共同探討產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)研發(fā)動(dòng)態(tài)。2015年，論壇以“智匯創(chuàng)新，引‘芯’發(fā)展”為主題，由進(jìn)站專(zhuān)家——復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院副院長(zhǎng)張衛(wèi)教授主持，邀請(qǐng)了原戴姆勒奔馳汽車(chē)電子實(shí)驗(yàn)室主任Wilhelm Senske博士，電子科技大學(xué)集成電路研究中心主任、微電子與固體電子學(xué)院副院長(zhǎng)張波教授，西安電子科技大學(xué)半導(dǎo)體技術(shù)重點(diǎn)學(xué)科實(shí)驗(yàn)室副主任張進(jìn)成教授等作精彩演講，在外部院士專(zhuān)家和公司技術(shù)人員之間架起了溝通互動(dòng)的橋梁，活躍了技術(shù)創(chuàng)新氛圍。2016年，工作站第3屆院士專(zhuān)家技術(shù)交流論壇作為上海院士峰會(huì)分會(huì)場(chǎng)之一及“相約張江”科技文化節(jié)系列活動(dòng)之一亮相。

　　今年，工作站嘗試以一場(chǎng)場(chǎng)小而精的沙龍座談作為一年一度大論壇的補(bǔ)充。5月18日，第1期“‘芯’視野”沙龍邀請(qǐng)廣立微CTO楊慎知博士作題為《從一到億，半導(dǎo)體器件分布及特征》的報(bào)告， 30余位工程師就半導(dǎo)體技術(shù)熱點(diǎn)、難點(diǎn)展開(kāi)積極討論。后續(xù)，“‘芯’視野”活動(dòng)還將就“電容測(cè)試”“創(chuàng)新思維”“客戶思維”等主題，邀請(qǐng)業(yè)界專(zhuān)家與廣大工程師一起交流、探討，為集成電路工作者搭建溝通的橋梁。

　　為企業(yè)合作項(xiàng)目提供戰(zhàn)略指導(dǎo)

　　華虹宏力院士專(zhuān)家工作站還始終為企業(yè)的合作項(xiàng)目提供戰(zhàn)略指導(dǎo)。目前在華虹宏力承擔(dān)的國(guó)家和市級(jí)重大科研項(xiàng)目中，有不少是與院士、專(zhuān)家所在單位合作攻關(guān)的，如與復(fù)旦大學(xué)合作了02國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“0.25—0.18微米通用BCD 產(chǎn)品工藝開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”和“0.13—0.09微米嵌入式自對(duì)準(zhǔn)分柵閃存產(chǎn)品工藝開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，與中科院上海微系統(tǒng)所就02國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“0.13微米SOI通用CMOS 工藝開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”“硅基射頻功率芯片工藝開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目開(kāi)展技術(shù)交流等。院士專(zhuān)家作為項(xiàng)目指導(dǎo)，或參與項(xiàng)目檢查會(huì)議，或給予戰(zhàn)略指導(dǎo)意見(jiàn)，為項(xiàng)目加快研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化起到了積極推進(jìn)作用。

　　目前，工作站不僅成功開(kāi)發(fā)了多種集成電路制造工藝，研制出大批具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的重大科技產(chǎn)品，更引領(lǐng)了國(guó)內(nèi)嵌入式閃存、SOI工藝等先進(jìn)特色工藝的技術(shù)突破。近年來(lái)，院士專(zhuān)家工作站3個(gè)項(xiàng)目成果的應(yīng)用轉(zhuǎn)化已實(shí)現(xiàn)了超千萬(wàn)元的經(jīng)濟(jì)效益。院士專(zhuān)家團(tuán)隊(duì)曾指導(dǎo)的嵌入式閃存工藝項(xiàng)目的應(yīng)用，更累計(jì)銷(xiāo)售突破50億元。這些在沉淀企業(yè)科研實(shí)力的同時(shí)，更有力地助推了集成電路芯片國(guó)產(chǎn)化。

　　2016年，上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司院士專(zhuān)家工作站在市科協(xié)的推薦下，成為全國(guó)百家示范院士專(zhuān)家工作站之一。公司還曾榮膺“2015年度上海市知識(shí)產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢(shì)企業(yè)”“2017年全國(guó)電子信息行業(yè)*具影響力企業(yè)”“中國(guó)工業(yè)行業(yè)履行社會(huì)責(zé)任五星級(jí)企業(yè)”，并蟬聯(lián)“2017年大中華IC設(shè)計(jì)成就獎(jiǎng)之*受認(rèn)可晶圓代工企業(yè)”，也是首個(gè)躋身“中國(guó)企業(yè)發(fā)明專(zhuān)利授權(quán)量前十”的集成電路企業(yè)。對(duì)于企業(yè)在自主創(chuàng)“芯”路上的快速發(fā)展，華虹宏力院士專(zhuān)家工作站功不可沒(méi)。今年初，市科協(xié)副主席李虹鳴赴華虹宏力，就其科協(xié)工作情況開(kāi)展了調(diào)研。